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电子束镀膜机的加热蒸起源利用热阴极发射电子，在电场的作用下成为高能量密度的电子束，直接撞击镀层 。电子束的动能转化为热能，使镀层加热蒸发，完成蒸发镀层 。
电子束加热蒸发的优点:
1.电子束加热比电阻加热具有更高的通量密度，可以蒸发W、Mo、Al2O3等高熔点质料，蒸发速率更高；
2.蒸发质料放入水冷铜坩埚中，可制止坩埚质料污染，制备高纯薄膜；
3.电子束蒸发颗粒动能大，有利于获得致密结协力好的膜层 。
电子束加热蒸发的缺点:
1.结构庞大，设备价格腾贵；
2.如果蒸起源四周的蒸汽密度高，电子束流和蒸汽颗�；嵯嗷プ饔�，电子通量会丧失，导致轨道偏移；同时，蒸汽和残留气体的刺激和电离会影响膜质量 。
电子束加热蒸起源的形式 。
电子束蒸起源由电子枪和坩埚两部分组成，有时还附有供应质料的机械 。在许多情况下，爆发和控制电子束的装置和坩埚设计成一体 。电子束加热蒸起源有以下结构形式
1.直线阴极和静电聚焦蒸发器 。
2.环形阴极和静电聚焦蒸发器 。
3.带轴向枪和静电远蒸发器 。
4.带轴向枪、磁聚焦、磁偏转90度的蒸发器 。
5.带横枪和磁偏转90度的蒸发器 。
6.带环形阴极、静电聚焦和静电偏转的蒸发器 。
7.E型电子枪蒸发器，E型电子束蒸起源发射的电子轨迹类似于e字，所以简称E型枪 。目前，这种蒸起源广泛应用于真空蒸镀工艺 。
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