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光电镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限制和电柜(控制电柜、电子枪电枢)组成，广泛应用于微电子、光电成膜、民用装饰、外貌工程等领域。
光镀设备在避免油污染、缩短事情周期等方面具有优异的性能。
光镀设备的事情原理是在高真空状态下，用电子束将金属或非金属质料加热到合适的温度，质料加热后蒸发成蒸汽分子。其平均自由程大于蒸起源与蒸发基之间的距离，蒸发后的蒸汽分子直接照射到各个地方，接触基片后沉积在基片外貌形成腊层。
光学镀膜机的维护主要包括更换电子枪的装置和维护、光路的维护、设备的清洁和维护。
1.电子枪的装置和维护。
电子枪支蒸起源控制系统由电子枪支灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸起源等组成。
电子枪控制电气中心含有高压，事情前必须包管柜门各联锁装置正常事情，非专家不得翻开电气中心门，电子枪事情时不得翻开电气中心门，整个电气中心必须接地良好，与机台接地。
装置在真空室底板上的电子枪蒸起源，必须与底板有良好的接地效果，装置蒸起源必须用不锈钢螺钉牢固，周围200mm以内不得有导磁物，不然会影响电子枪的光斑成表，造成电子性能差。电子枪档板应尽量装置在蒸起源坩埚中心30mm处，以免影响电子枪的发射。
电子枪的蒸起源是精密的机械加工体，事情时必须包管良好的冷却水。温度过高会影响电子束的成形和各密封圈的性能。
㈠电子枪头。
电子枪头的装置直接影响事情的正常进行，90%的故障与电子枪头有关。
电子枪头使用一段时间后，会因组件污染而影响电子束的成型和功率，需要拆卸清洗。
㈡坩埚的维修。
拆除坩埚前，请关闭水路，用压缩空气将电子枪冷却管内的水吹干。
蒸起源装卸顺序:
1.拆下两个冷却水连接管。2.拧出电子枪头，连接高压线和两个螺钉。3.拆下坩埚传动连接座和联轴器。4.拧下蒸起源的四个牢固螺钉。5.将蒸起源搬到稳定平整的事情台。6.拆下坩埚盖板的四个螺钉，取下盖板，打磨洁净。7.检查盖板上的两个密封圈是否需要更换。8.将蒸起源反转倒置，用木板垫住坩埚部分。9.拧下牢固坩埚转动四个螺钉10。提起蒸起源，取下坩埚11。将坩埚倒置，拧下坩埚底盖的八个螺钉，清理里面的污垢，检查是否需要接近密封圈。12.拧下导水管的一个螺钉13。拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺钉14。拨出坩埚转动轴，检查转动轴的油封是否需要更换。装置应按上述倒置顺序进行。
㈢维修导磁板和扫描圈。
导磁板和永磁铁不需要经常拆卸和维护。如果需要拆卸，请注意永磁铁的极向和导磁板的偏向。由于线圈装置空间密集，请不要用硬尖撬动，不然可能会损坏。
光路的维修与保养。
光路调理的前提是确保DC稳定电源、调制光源、光纤、光栅单色仪、光电转换放大器、光学膜厚仪和种种专用电缆的完好正确接入。特别是光电转换放大器和光学膜厚丈量仪的接所在必须划分归类为主机接所在。
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