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真空镀膜机主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜，包括多种真空镀膜设备，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功效中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等。那么使用真空镀膜机需要注意什么呢？如何维护保养？
真空镀膜机维护和保养步伐如下:
1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置的导电效果。
2.扩散泵和油增压泵加热时，不要与大气接触，以免泵油氧化。
3.按期检查和调解水流继电器，检查断水报警是否正常，确保设备冷却水的流通。
4、扩散泵和油增压泵在加热前必须接通冷却水，泵停止事情，但泵未冷却到80℃以下时，不得切断冷却水，以避免泵芯烧毁。
5、涂装事情前必须连接所有设备冷却水，以避免电极和基材烧伤。
6.拆卸和组装设备部件时，应注意�；っ芊馐虑槊婷馐芑祷嘶蛩鸹�，以确保设备的密封性能可靠。
7.设备各传动轴真空密封接纳“骨架油封”，骨架油封内腔填充润滑油。使用一段时间就会磨损，所以一定要加同样的润滑油。
8.按期检查罗茨泵和滑阀泵的储油能力，并按期增补。同时，凭据其手册的要求进行维护。
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