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蒸发真空镀膜机技术要求
结构要求
1.设备结构结构合理，外形美观，操作便当，维护便当。
2.设备中静动密封的结构形式和尺寸应切合GB/T6070和JB/T1090~1092的要求。
3.在低真空、高真空管道和涂层室装置真空管道，划分丈量各部分的压力。
4.如果设备的真空单位以扩散泵为主泵，则应在扩散泵的进气口装置挡板或冷阱。
5.涂层室应有视察窗。关于涂层历程中爆发辐射的设备，视察窗应装置防辐射镜片。
6.带工件烘烤装置的设备应有温度丈量电极或温度丈量装置。
7.工件架旋转机构的转速应切合产品设计要求。
8.配有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备应能在产品设计要求的参数规模内正常连续稳定事情30分钟以上。
9.钨丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸镀质料正常蒸发，蒸发历程中加热器的几何形状不应影响正常蒸发。
10.设备蒸起源的事情条件应稳定，易于调理和控制。种种蒸起源(如电阻蒸起源、电子束蒸起源、离子束蒸起源、激光蒸起源、感应蒸起源等。)的技术要求应切合相应的产品标准。
设备接纳低电压、大电流电阻蒸起源时，各蒸起源加热器应处于4V~20V电压、50A~180A电流状态。
生产要求
1.设备零件的机械加工质量和焊接零件的质量和组装质量应切合制造商的技术文件要求。
2.设备镀膜室内外貌及各密封面的粗糙度Ra值不得大于1.6um，并对事情时处于真空状态的各个外貌进行有效的真空清洗处理，并进行干燥。各旋转部件、升降机构等行动应灵活，不得有卡、滞、松、抖、异响等现象，需要使用润滑脂的动密封部位应适量真空油。
3.设备主要部件的质料应切合相应的质料标准。
4.配套设备的电气设备质量应切合制造商的技术文件要求，设备运行宁静可靠。
5.设备的外观质量应无非功效性要求的尖角、棱角、凸起和粗糙不平整的外貌。零件结合面边沿应整齐均匀，无明显偏差。金属零件的涂层应牢固，无脱落、生锈等现象，所有固体零件应有防锈层。设备的涂装外貌应平滑、美观、牢固、无脱落、剥落。
6.设备中外购置的配套产品应切合相应的产品标准，并有质量证书。设备中自制的配套产品只能在制造商检验部分检验及格后使用。
7.设备中的种种蒸起源、辅助离子源和离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、薄膜厚度监测等设备。应逐一调试和联合调试，其性能应切合设计要求，运行可靠。当工件加热到额定温度时，真空室外外貌温度不应高于45度，设备运动部件应正常事情。
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