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（4)真空镀膜机安裝蒸起源：
留意戴脱油胶手套，专用工具要事先脱油。需注意蒸起源与电级优良触碰。
(5)置放镀件：
应稳定坚固置放在镀件地和镀件夹上，避免蒸发时易工装夹具转动而将镀件抛离工装夹具，需戴脱油胶手套，不可谈话，维持镀件工装夹具清理。
2.真空镀膜机包装流程
开启制冷进水阀，调解到所需压力，接入总开关电源，关掉通向真空系统的大气阀，关好阀门，运行真空泵开关电源，开启预真空阀。这时真空泵对真空系统抽真空，后开展直流溅射，接入扩散泵加温开关电源，关掉预真空阀门，待扩散泵做到事情标准时，关掉真空阀门，开启阀门，开启高真空阀门，这时，扩散泵、真空泵对真空系统开展抽真空，认真空值做到一定标值后开展烤制、预熔和蒸发。
3.直流溅射
电弧放电时，直流溅射电子器件获得很高的速率，在镀件周边因电子器件比较大的扩散系数而快速含有负电，在负电荷诱惑力的效果下，正直流溅射镀件表层，镀件外貌有动能交换，在镀件吸咐层和活力汽体中间爆发化学变革，做到清理外表的实际效果。
直流溅射的前提是剩下空气压力平稳在0.13~13Pa，事情电压为1.5~10kV，時间为5~60min。
真空镀膜机
4.烤制
可加速镀件或工装夹具吸咐的空气快速逸出，有益于提升真空值和膜层结合性，烤制时特别注意，针对非金属烤制溫度要小于镀件的热变形温度20~30℃，对金属烤制一般不凌驾200℃。
5.预熔
可去除蒸发原质料低中溶点残渣和蒸起源及蒸发原质料中吸咐的汽体，有益于蒸发的顺利开展，预熔的真空值一般为6.6×10-3Pa，時间以彻底融化才行，对吸水性大的化学物质应不绝预熔，总的划定是在蒸发原质料提温到蒸发溫度时，真空值不会再降低。
6.蒸发
蒸发真空镀膜机的蒸发技术对涂层品质危害比较大，对一般金属、奇特金属和化学物质都是有纷歧样的划定，例如对一些金属需迅速蒸发，而对另一些金属则不适适用，加温方法及蒸起源的样子也需要依据蒸发原质料的差别而定。
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