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真空镀膜机扩散泵的维护要领；
扩散泵是一种高真空获取设备 ，极限为-5pa级泵 ，抽气速度大 ，效率高 ，能忙速抽气 ，一般用于真空镀高 ，抽气速度要求高的设备 ，是真空镀膜机的重要组成部分 ，真空镀膜机接纳扩散泵抽真空 ，大大都是大型设备 ，因此 ，大大都商家都十分重视真空镀膜机扩散泵的维修保养 ，下面汇成真空小编为您详细介绍扩散泵的维修保养：
真空镀膜机 。
一是扩散泵事情时冷却水必须包管流通 ，停止加热后必须包管泵事情液完全冷却后才华关闭 。
二是扩散泵停止事情时 ，泵内应坚持真空状态 ，以免油品劣化 。
三是被抽气体应为干燥、无腐化、无灰尘的气体 。
第四 ，如果扩散泵暂时不使用 ，保管期间应坚持真空状态 ，以免泵油污染和各部件腐化 ，并将冷却水中的剩余水吹走 。现场室温应在10-40摄氏度之间 。
第五 ，扩散泵恒久事情后性能会逐渐变差 ，应按期检查 。例如 ，泵油是否减少或氧化 ，应按相应要求加油或更换；零件和泵腔应先用航空汽油清洗 ，然后用丙酮擦洗 ，并在80-100摄氏度的温度下干燥或用吹风机吹干 。处理后 ，按顺序组装 ，坚持泵芯与泵底笔直于泵腔 ，各级喷嘴间隙应按原要求调解 。
第六:水分挥发干燥后 ，装置泵芯 ，加入新的扩散泵油 ，装回机体 ，连接水管 ，装置电炉盘 ，重新启动 。
第七:重新翻开真空镀膜机前 ，注意泄漏检测 。要领是启动维护泵 ，关闭门 ，几分钟后视察真空度 ，检查连接处是否有密封圈泄漏或压坏密封圈 。排除漏气隐患后再加热 ，不然扩散泵油会烧坏 ，无法进入事情状态 。
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