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真空设备应用广泛，如那边置种种庞大问题？
如今，真空设备的应用领域越来越广泛，其中许多与电力，电磁，水，气源和制冷有关。真空炉或镀膜设备都会遇到电气问题。很少有一些情况不是电源部分的问题，这很难理解。其中一些是由于机械组装时的粗心造成的，而某些是绝缘质料或结构的问题。这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，您应仔细剖析故障现象或咨询专门从事此事情的人员。制止意外拆卸和拆卸造成不须要的损失。有一种特殊的设备在事情时会放电。在剖析事情纪录并与操作员相同之后，可以得出差别的结论。有人认为电源有问题，有人认为这是组装历程中的问题。之后，拆卸设备，重新组装后消除放电现象。有一个磁控溅射镀膜机，产品的下半部明显好于上半部，靶的外观没有问题，磁环的上半部用高斯计消磁。检查后，发明水路有问题。调解水路，更换磁环，解决了产品上下的一致性问题。
在设备的加工阶段，必须遵循加工技术（尤其是焊接技术），以实时发明半制品的泄漏。关于制造后无法触摸，泄漏测试或维修的零件，必须严格测试焊接质量是否有泄漏，缺乏格的零件应实时重新焊接，维修和泄漏测试，然后可以进行下一个历程切合要求后。特别是关于大型容器的装配焊接和加工，中间历程中的泄漏检测很是重要。如有须要，应设计和制造专用的检漏工具（例如检漏盒，盲板等）。关于带有双壁水冷套的真空腔体，先焊接内腔壁并检查是否泄漏，确认没有泄漏，然后再焊接外腔壁。同样，在腔室壁的外侧保存难以拆卸的绝缘层的情况下，需要在笼罩外部结构之前对腔室壁进行严格的泄漏检测。
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