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真空镀膜设备主要是指需要在较高真空度下进行的镀膜 ，包括多种类型 ，包括多弧离子真空镀膜设备 ，真空离子蒸发 ，光学镀膜机 ，磁控溅射 ，MBE分子束外延 ， PLD激光溅射有多种喷涂要领 。真空镀膜的事情原理是薄膜在高温下在工件外貌蒸发并结晶 。由于空气将对蒸发的薄膜分子爆发阻力 ，并引起碰撞 ，使晶体粗糙而昏暗 ，因此必须在高真空下使晶体细腻明亮 。如果真空度不高 ，则晶体将失去光泽 ，并且粘协力也很是差 。早期的真空镀膜依赖于蒸发器的自然散射 ，加上事情效率低和光泽差 。现在添加中频磁控溅射靶 。磁控射击靶在电场的作用下加速了膜体蒸发分子对靶质料的轰击 ，溅射出大宗靶原子 ，中性靶原子（或分子）沉积在膜上基材上的薄膜解决了已往无法通过自然蒸发处理的薄膜类型 ，例如镀钛和镀锆 。
目前 ，真空技术越来越广泛地用于石油 ，化工 ，制药 ，冶金等行业的真空蒸发 ，结晶 ，蒸馏 ，升华 ，干燥 ，负压浓缩 ，脱水 ，化学反应吸收和真空输送质料 。在加工历程中应用真空技术后 ，可以节省能源 ，减少消耗 ，加速反应速度 ，提高产品质量 ，增加经济效益 。它已逐渐形成共识 。可是 ，真空技术是一门边沿科学 。解放后 ，中国的真空工业消化了前苏联和美国 。在日本和德国产品的基础上开发的 。蒸汽喷射真空泵具有真空度高 ，能耗低 ，运行稳定 ，无机械摩擦 ，寿命长 ，设备宁静的优点 。在具有高真空要求的事情系统中 ，蒸汽喷射真空泵通常是真空设备 。
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