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真空镀膜机扩散泵如何维修和保养

2021-06-11 16:50:56

真空镀膜机扩散泵的维护要领;

扩散泵是一种高真空获取设备,极限为-5pa级泵,抽气速度大,效率高,能忙速抽气,一般用于真空镀高,抽气速度要求高的设备,是真空镀膜机的重要组成部分,真空镀膜机接纳扩散泵抽真空,大大都是大型设备,因此,大大都商家都十分重视真空镀膜机扩散泵的维修保养,下面汇成真空小编为您详细介绍扩散泵的维修保养:

真空镀膜机 。

一是扩散泵事情时冷却水必须包管流通,停止加热后必须包管泵事情液完全冷却后才华关闭 。

二是扩散泵停止事情时,泵内应坚持真空状态,以免油品劣化 。

三是被抽气体应为干燥、无腐化、无灰尘的气体 。


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第四,如果扩散泵暂时不使用,保管期间应坚持真空状态,以免泵油污染和各部件腐化,并将冷却水中的剩余水吹走 。现场室温应在10-40摄氏度之间 。

第五,扩散泵恒久事情后性能会逐渐变差,应按期检查 。例如,泵油是否减少或氧化,应按相应要求加油或更换;零件和泵腔应先用航空汽油清洗,然后用丙酮擦洗,并在80-100摄氏度的温度下干燥或用吹风机吹干 。处理后,按顺序组装,坚持泵芯与泵底笔直于泵腔,各级喷嘴间隙应按原要求调解 。

第六:水分挥发干燥后,装置泵芯,加入新的扩散泵油,装回机体,连接水管,装置电炉盘,重新启动 。

第七:重新翻开真空镀膜机前,注意泄漏检测 。要领是启动维护泵,关闭门,几分钟后视察真空度,检查连接处是否有密封圈泄漏或压坏密封圈 。排除漏气隐患后再加热,不然扩散泵油会烧坏,无法进入事情状态 。


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